凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。在凈化中對(duì)空氣的凈化的方案也是不可避免的。
1.在凈化工程中,對(duì)各級(jí)別空氣潔凈度進(jìn)行凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效和高效三級(jí)空氣過濾器。
2.空氣濾清器的選擇布置及安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣濾清器不應(yīng)選擇油浸式濾清器;中效空氣濾清器宜設(shè)于凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正壓段;高效空氣濾清器設(shè)于凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣濾清器安裝應(yīng)簡便易行,便于檢漏和更換;中效和高效空氣濾清器宜設(shè)于同一凈化車間;阻力和效率相似的高效空氣濾清器宜設(shè)于同一凈化車間。
3.在確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí),應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及凈化車間空氣的純凈度等級(jí)、面積、位置等因素。對(duì)于生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵車間或凈化車間面積較大、位置集中,且對(duì)噪聲、振動(dòng)控制要求高的凈化車間,宜采用集中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
4.凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱,應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)設(shè)置在高效空氣過濾器上風(fēng)側(cè),并有防火措施。
5.凈化工程凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng),除直流系統(tǒng)和設(shè)有值班風(fēng)扇的系統(tǒng)外,應(yīng)采用防灌倒措施,防止室外污染空氣通過新風(fēng)口進(jìn)入凈化車間。
6.凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng),凡工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì),局部處理不符合衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r(shí),不得采用回風(fēng)。